Геттерные и ионно-геттерные насосы

Abstract

Аннотация издательства: В брошюре-лекции изложены принципы действия и основные характеристики испарительных геттерных и ионно-геттерных насосов. Рассмотрены наиболее распространенные типы насосов с термическим испарением геттера, магнитных электроразрядных насосов и комбинированных насосов. Описаны методы расчета и проектирования, конструктивно-технологические решения и важнейшие параметры насосов, особенности их применения и эксплуатации.