• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Deutsch 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Einloggen
Dokumentanzeige 
  •   DSpace Startseite
  • Genofond
  • Libgen
  • Dokumentanzeige
  •   DSpace Startseite
  • Genofond
  • Libgen
  • Dokumentanzeige
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Вакуумное нанесение тонких пленок

Thumbnail
Öffnen
966d66a1024480ac2bb1325d806899a4.djvu (4.619Mb)
Datum
1967
Autor
Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера
Metadata
Zur Langanzeige
Zusammenfassung
Аннотация издательства: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок. Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.
URI
http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/59680
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Kontakt | Feedback abschicken
Theme by 
Atmire NV
 

 

Stöbern

Gesamter BestandBereiche & SammlungenErscheinungsdatumAutorenTitelnSchlagwortenDiese SammlungErscheinungsdatumAutorenTitelnSchlagworten

Mein Benutzerkonto

EinloggenRegistrieren

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Kontakt | Feedback abschicken
Theme by 
Atmire NV