Элементы интегральных схем

Abstract

В книге американских специалистов изложены основы физики и технологии изготовления элементов кремниевых ИС, принципы их действия, вопросырасчета и конструирования, а также математические модели, используемые дляпроектирования как самих элементов, так и цифровых и аналоговых ИС на ихоснове. Большое внимание уделяется математическим моделям элементов ИС, предназначенным для систем автоматизированного проектирования. Рассмотрен ряд специфических для ИС элементов: биполярные транзисторы с оксиднойизоляцией, КМОП-структуры и т. д. Для специалистов по проектированию полупроводниковых ИС, инженеров-технологов полупроводникового производства, а также студентов и аспирантов соответствующих специальностей.