Контакты металл — полупроводник

Abstract

Подробно рассмотрены физические явления в контактах металл — полупроводник, методы и результаты исследования характеристик и параметров, технология создания контактов. Приведены справочные данные по параметрам контактов различных металлов с большой группой полупроводников. Некоторые -разделы посвящены барьерам Шоттки с глубокими ловушками и использованию барьеров Шоттки для определения параметров полупроводников.Предназначена для инженеров-физиков и технологов, занимающихся исследованием и созданием полупроводниковых приборов и интегральных микросхем.