Показать сокращенную информацию

Фото-, электроно- и рентгенорезисты

dc.contributor.authorБоков Юрий Сергеевич
dc.date.accessioned2016-02-22T07:00:26Z
dc.date.available2016-02-22T07:00:26Z
dc.date.issued1982
dc.identifier.isbn
dc.identifier.issn
dc.identifier.urihttp://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/48783
dc.description.abstractПосвящена вопросам получения фото-, электроно- и рентгенорезистов и применения их в технологии микроэлектронных изделий. Приведена классификация регистрирующих защитных материалов, изложены основные химические и физико-химические принципы их создания. Рассмотрены свойства различных типов фото-, электроно- и рентгенорезистов и особенности их применения, а также перспективы дальнейшего развития техники защитных материалов.Для инженеров-технологов, специализирующихся в области химической технологии микроэлектроники.
dc.language.isoRussian
dc.publisherРадио и связь
dc.subjectТехника\\Электроника: Радио
dc.subjectTechnique\\Electronics: Radio
dc.subject.ddc
dc.subject.lcc
dc.titleФото-, электроно- и рентгенорезисты
dc.typeother
dc.identifier.aich3DXOBSQ4WGMMDPPVSUCNXWS2Z27ZK5EM
dc.identifier.crc3295FB51B0
dc.identifier.doi
dc.identifier.edonkey86F6D3AB11F7C6D956503556459F6B38
dc.identifier.googlebookid
dc.identifier.openlibraryid
dc.identifier.udk
dc.identifier.bbk
dc.identifier.libgenid1214462
dc.identifier.md562d7e56c055831e46b4cef7bb3500bd9
dc.identifier.sha1YN6HCVKR3KDGX3NQ4CPYBAZVFRGK44V7
dc.identifier.tth5XBF3CPMX5WT57BHZBIOBEVZL3P5C5EWFHB7S2Q


Файлы в этом документе

Thumbnail
Имя:
62d7e56c055831e46b4cef7bb3500b ...
Размер:
1.641Mb
Формат:
Unknown
Открыть

Данный элемент включен в следующие коллекции

Показать сокращенную информацию