Магниторазрядные насосы

Abstract

Аннотация издательства: В книге рассмотрены ионные магниторазрядные насосы с холодными катодами, в которых используется так называемый разряд Пеннинга. Основное внимание уделено физическим принципам работы подобных насосов, вопросам их конструирования и эксплуатации. Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников, связанных с разработкой или применением магниторазрядных насосов, а также для широкого круга специалистов, интересующихся проблемами современной вакуумной техники.