Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах

Abstract

Аннотация издательства: Посвящена основам теории, методам расчета и оптимизации сложных высоковакуумных систем. Изложены теоретические модели и базирующиеся на них способы определения параметров сильно разреженного газа и характеристик элементов вакуумных систем. Приведены методика и результаты вычислений пространственного распределения молекулярных потоков в вакуумных камерах, пропускной способности каналов и трубопроводов. Предложена математическая модель и рассмотрены особенности расчета насосов поверхностного действия, методы их оптимизации. Предназначена для специалистов в области электрофизического и вакуумного аппаратостроения, экспериментальной физики, научного приборостроения. Может быть полезна также преподавателям вузов и аспирантам соответствующих специальностей.