• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • español 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Login
Ver ítem 
  •   DSpace Principal
  • Genofond
  • Libgen
  • Ver ítem
  •   DSpace Principal
  • Genofond
  • Libgen
  • Ver ítem
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Технология тонких пленок

Thumbnail
Ver/
7b4df95a3d6c9249c7924d370ee282ee.djvu (23.67Mb)
Fecha
1977
Autor
Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко
Metadatos
Mostrar el registro completo del ítem
Resumen
Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2—гл. 8—21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их *рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
URI
http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/54395
Colecciones
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contacto | Sugerencias
Theme by 
Atmire NV
 

 

Listar

Todo DSpaceComunidades & ColeccionesPor fecha de publicaciónAutoresTítulosMateriasEsta colecciónPor fecha de publicaciónAutoresTítulosMaterias

Mi cuenta

AccederRegistro

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contacto | Sugerencias
Theme by 
Atmire NV