Mostra i principali dati dell'item
Технология тонких пленок
dc.contributor.author | Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Пер. с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T11:56:31Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T11:56:31Z | |
dc.date.issued | 1977 | |
dc.identifier.isbn | ||
dc.identifier.issn | ||
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/54395 | |
dc.description.abstract | Справочник по технологии тонких пленок — наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1—7, в т. 2—гл. 8—21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их *рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Советское радио | |
dc.subject | ||
dc.subject | ||
dc.subject.ddc | ||
dc.subject.lcc | ||
dc.title | Технология тонких пленок | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | 4OWL5LB6MNPHF7FWKAD4OTLC323LPLSD | |
dc.identifier.crc32 | 1307E554 | |
dc.identifier.doi | ||
dc.identifier.edonkey | D59F6C3B70527B8B91BD7753EF56F6FB | |
dc.identifier.googlebookid | ||
dc.identifier.openlibraryid | ||
dc.identifier.udk | 539.216.2.002.(031) | |
dc.identifier.bbk | ||
dc.identifier.libgenid | 854267 | |
dc.identifier.md5 | 7b4df95a3d6c9249c7924d370ee282ee | |
dc.identifier.sha1 | KNJ5BEZBLRNSUAZDGI23626E4DQPNKC5 | |
dc.identifier.tth | VIERL7KUJRD3KO2H37QOECM2WKEQFIQXX3CQE4A |
Files in questo item
Questo item appare nelle seguenti collezioni
-
Libgen [81666]