Электрофизические вакуумные насосы

Abstract

Рассмотрены принципы работы испарительных геттерных и ионно-геттерных, магнитных электроразрядных, комбинированных, сорбционных, на основе термоактивируемых нераспыляемых геттеров и других типов электрофизических насосов. Изложены принципы и критерии из оптимизации, инженерные методы расчёта вакуумных и электрических характеристик, типичные эксплуатационные режимы. Для научных работников и инженеров. Может быть полезна также студентам вузов и аспирантам.

Для тех, кто знает о чём речь:)