• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Deutsch 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Einloggen
Dokumentanzeige 
  •   DSpace Startseite
  • Genofond
  • Libgen
  • Dokumentanzeige
  •   DSpace Startseite
  • Genofond
  • Libgen
  • Dokumentanzeige
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов

Thumbnail
Öffnen
a4b6ee49d62716d58a5974d3d4bd9153.djvu (5.506Mb)
Datum
1989
Autor
Миллер Д. (ред.)
Metadata
Zur Langanzeige
Zusammenfassung
В книге представлены доклады известных специалистов из разных стран на IV Международной конференции по моделированию полупроводниковыхприборов и интегральных схем, проходившей в июне 1985 г. в г. Дублине.Рассматриваются вопросы моделирования электрофизических характеристик приборов и технологических процессов, применяемых при их изготовлении. Большоевнимание уделено используемым численным методам и описанию пакетов прикладных программ. Широко представлены результаты двумерного моделированияразличных полупроводниковых приборов, а также процессов диффузии и окисления. Наряду с традиционной диффузионно-дрейфовой моделью в ряде работ дляанализа характеристик приборов используются гидродинамическая модель и метод частиц. Основное внимание уделяется кремниевым приборам, но в ряде работ рассматриваются свойства, характерные для приборов на основе соединений А3В5. Кратко затрагиваются вопросы схемотехнического анализа, моделирования литографии, травления, осаждения, ионной имплантации, воздействия светового и ионизирующего излучений. Русское издание книги:New Problems and New Solutions for Device and Process Modelling Proceedings of the Fourth International Conference on the Numerical Analysis of Semiconductor Devices and Integrated Circuits June 1985, Trinity College, Dublin, Ireland Edited by JJ.H. MILLER Boole P (June 1985)ISBN-10: 0906783453
URI
http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/61966
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Kontakt | Feedback abschicken
Theme by 
Atmire NV
 

 

Stöbern

Gesamter BestandBereiche & SammlungenErscheinungsdatumAutorenTitelnSchlagwortenDiese SammlungErscheinungsdatumAutorenTitelnSchlagworten

Mein Benutzerkonto

EinloggenRegistrieren

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Kontakt | Feedback abschicken
Theme by 
Atmire NV