Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники

Abstract

В книге рассмотрены вопросы конструирования и технологии производства гибридных тонкопленочных микросхем. Описаны элементы тонкопленочиых микросхем, материалы для их изготовления. Представлены необходимые сведения для расчета элементов. Рассмотрены методы, технология и оборудование для изготовления тонкопленочных слоев, рисунка элементов схемы, а также вопросы технологии сборочно-монтажных работ. Отдельно рассмотрены проблемы создания многокристалльных больших интегральных схем. Книга предназначена для инженеров и техников, связанных с производством микросхем и аппаратуры на микросхемах в приборостроении и других смежных отраслях.