Вакуумная техника [Учеб. для вузов по спец. ''Электрон. машиностроение'']

Abstract

В кинге рассматриваются физико-химические процессы в вакууме и на поверхности твердого тела, течение газов по трубопроводу; вопросы объемной и сорбционной откачки, принцип действия вакуумных насосов, течеискание; даны типовые вакуумные схемы машин н установок, основы конструирования вакуумных систем. Во втором издании (1-е - 1982 г.) в новом методическом изложении даны разделы физики вакуума, физических процессов и сорбцнонных явление в вакууме.