Физика тонких пленок

Abstract

Книга состоит из шести обзорных статей, написанных американскими и английскими специалистами по следующим вопросам: дефекты структуры в тонких металлических пленках, пленочный полевой триод с изолированным затвором, измерение оптических констант тонких пленок, просветляющие покрытия для видимой и инфракрасной областей спектра, поглощение солнечного излучения и излучательная способность напыленных покрытий, пленочные схемы. Статьи содержат полезный справочный материал: таблицы, номограммы, систематизированные сводки формул, обширную библиографию. Особый интерес для специалистов в области микроэлектроники представляет обзор по пленочным полевым триодам, написанный известным американским специалистом Веймером. Книга предназначается прежде всего для лиц, занимающихся структурой металлических пленок, микроэлектроникой и ее применениями в космических исследованиях и вычислительной технике, а также оптикой тонких пленок. Она может быть весьма полезна для студентов и аспирантов, специализирующихся в указанных областях.