dc.contributor.author | Майссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко. | |
dc.date.accessioned | 2016-03-24T10:13:35Z | |
dc.date.available | 2016-03-24T10:13:35Z | |
dc.date.issued | 1977 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/73392 | |
dc.description.abstract | Справочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Советское радио. Редакция литературы по электронной технике | |
dc.subject | | |
dc.subject | | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Технология тонких пленок. Справочник | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | 3KYQNT5CAF62GZIRY7WRX2LHY4DAES6L | |
dc.identifier.crc32 | 9AEE5A49 | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | 7D2A768707B2AD2D774FD9F15ABBE99F | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 1220543 | |
dc.identifier.md5 | c6a7b0ccb61a126b880c911d2a20a9cb | |
dc.identifier.sha1 | ONXAPFBWVAZI44U47XQDU5XANDNZZEE2 | |
dc.identifier.tth | 2OCO4PIYIKJS3X4P4SIJPNN7RLIE3R25X4CDOYQ | |