• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • italiano 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Login
Mostra Item 
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • Mostra Item
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • Mostra Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Технология тонких пленок. Справочник

Thumbnail
Mostra/Apri
c6a7b0ccb61a126b880c911d2a20a9cb.djvu (16.20Mb)
Data
1977
Autore
Майссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.
Metadata
Mostra tutti i dati dell'item
Abstract
Справочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
URI
http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/73392
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contattaci | Manda Feedback
Theme by 
Atmire NV
 

 

Ricerca

Tutto DSpaceArchivi & CollezioniData di pubblicazioneAutoriTitoliSoggettiQuesta CollezioneData di pubblicazioneAutoriTitoliSoggetti

My Account

LoginRegistrazione

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contattaci | Manda Feedback
Theme by 
Atmire NV