• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • українська 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Ввійти
Перегляд матеріалів 
  •   Головна сторінка DSpace
  • Genofond
  • Libgen
  • Перегляд матеріалів
  •   Головна сторінка DSpace
  • Genofond
  • Libgen
  • Перегляд матеріалів
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Технология тонких пленок. Справочник

Thumbnail
Переглянути
c6a7b0ccb61a126b880c911d2a20a9cb.djvu (16.20Mb)
Дата
1977
Автор
Майссел Леон, Под редакцией Л.Майссела, Р.Глэнга. Перевод с английского Под редакцией М.И.Елинсона, Г.Г.Смолко.
Metadata
Показати повний опис матеріалу
Короткий опис(реферат)
Справочник по технологии тонких пленок' наиболее современное и фундаментальное издание, посвященное тонким пленкам твердых веществ, находящим широкое применение в микроэлектронике, оптике, магнитной технике, СВЧ и космической технике и др. Справочник издается в двух томах. В т. 1 включены гл. 1?7, в т. 2' гл. 8?21. В т. 2 справочника рассмотрены особенности тонких пленок: их рост и структура, методы ее исследования, толщина и химический состав пленок, а также зависимость их структуры от технологии. Излагаются физические свойства полупроводниковых диэлектрических, ферромагнитных, пьезоэлектрических и сверхпроводящих пленок и зависимость параметров пленок от технологии. Отражены также основные направления применения тонких пленок в интегральных микросхемах, СВЧ устройствах, создании дискретных электронных элементов. Книга является универсальным справочным пособием для широкого круга инженеров и конструкторов радиоэлектродной аппаратуры, разработчиков интегральных микросхем и радиоэлектронных элементов, научных работников, аспирантов и студентов, специализирующихся в области микроэлектроники, физики и технологии изготовления тонких пленок.
URI
http://libarch.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/73392
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Контакти | Зворотній зв'язок
Theme by 
Atmire NV
 

 

Перегляд

Всі матеріалиФонди та колекціїЗа датою публикаціїАвториЗаголовкиТемиКолекціяЗа датою публикаціїАвториЗаголовкиТеми

Мій профіль

ВвійтиЗареєструватися

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Контакти | Зворотній зв'язок
Theme by 
Atmire NV