dc.contributor.author | Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера | |
dc.date.accessioned | 2016-02-22T16:26:20Z | |
dc.date.available | 2016-02-22T16:26:20Z | |
dc.date.issued | 1967 | |
dc.identifier.isbn | | |
dc.identifier.issn | | |
dc.identifier.uri | http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/59680 | |
dc.description.abstract | Аннотация издательства: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок. Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок. | |
dc.language.iso | Russian | |
dc.publisher | Энергия | |
dc.subject | Техника\\Энергетика | |
dc.subject | Technique\\Energy | |
dc.subject.ddc | | |
dc.subject.lcc | | |
dc.title | Вакуумное нанесение тонких пленок | |
dc.type | other | |
dc.identifier.aich | 6BO4G23SUD54AZNUNZA2B2W5JA3NHWPW | |
dc.identifier.crc32 | 1B7EA2EA | |
dc.identifier.doi | | |
dc.identifier.edonkey | 0F43DD6043C9441B6C4F3E8768A3A875 | |
dc.identifier.googlebookid | | |
dc.identifier.openlibraryid | | |
dc.identifier.udk | | |
dc.identifier.bbk | | |
dc.identifier.libgenid | 51574 | |
dc.identifier.md5 | 966D66A1024480AC2BB1325D806899A4 | |
dc.identifier.sha1 | RHJXHX6UVN7XJC4R7IYEP6NKLQIVE5XV | |
dc.identifier.tth | 3DRXN264MFFHRRSNGHKKT43T6X6LM5X7VD2JZOQ | |