• русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • English 
    • русский
    • українська
    • English
    • Deutsch
    • español
    • italiano
  • Login
View Item 
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • View Item
  •   DSpace Home
  • Genofond
  • Libgen
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Вакуумное нанесение тонких пленок

Thumbnail
View/Open
966d66a1024480ac2bb1325d806899a4.djvu (4.619Mb)
Date
1967
Author
Данилин Борис Степанович, Под общей редакцией Р.А.Нилендера
Metadata
Show full item record
Abstract
Аннотация издательства: В книге рассматриваются способы получения и обработки, а также методы измерения скорости напыления и толщины тонкопленочных слоев и основные области применения тонких пленок. Излагаются требования к вакууму и составу остаточной среды при термическом испарении и катодном распылении и описываются современные средства получения и измерения вакуума, а также оборудование и аппаратура, используемые при получении тонких пленок. Книга рассчитана на широкий круг лиц, занимающихся конструированием, монтажом и эксплуатацией вакуумного напылительного оборудования и получением тонких пленок.
URI
http://ir.nmu.org.ua/handle/GenofondUA/59680
Collections
  • Libgen [81666]

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV
 

 

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesSubjectsThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesSubjects

My Account

LoginRegister

DSpace software copyright © 2002-2016  DuraSpace
Contact Us | Send Feedback
Theme by 
Atmire NV